CVD（化学上的气相色谱累积）一种一直采用的素材化学(xue)合成🐭(cheng)技艺，它(ta)可通过的时(shi)候在冷藏下负(꧋fu)其(qi)他气体份子(zi)和的外表揭(jie)示来累(lei)积素材。

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摹拟型和数字型的固体的质量联通流量有节制器首要是经由过程0-5V、4-20mA旌旗灯号或RS485 modbus和谈，来停止数据通讯，今朝在PE、CVD高压气法宝中利用，等离子体加强化学的气相堆积法。这类方式有良多长处，比方成膜品质好等。PECVD比通俗CVD停止化学气相堆积速度高、平均性好、分歧性和不变性高。
PECVD：是借助微波或射频等使含有薄膜成份原子的气体电离，在部分构成等离子体，而等离子体化学活ꦆ性很。